Vakuumdurchführungen

Vakuumdurchführungen

Nahezu bei jedem vakuumtechnischen Prozess ist es erforderlich, elektrische Leitungen zur Steuerung und Regelung bzw. zu Messzwecken ins Vakuum zu führen. An der Vakuumapparatur wird daher eine sogenannte Vakuumdurchführung angebracht, die an der Vakuum- und Luftseite elektrisch kontaktiert werden kann. In der Regel besteht sie aus einem Gehäuse und einem Isolierkörper mit mehreren Kontaktstiften. Die am Markt erhältlichen Durchführungen unterscheiden sich qualitativ hinsichtlich der verwendeten Materialien und somit in ihren Einsatzmöglichkeiten. So sind Durchführungen mit Kunststoffisolierung bzw. O-Ring-Dichtungen weder für den Ultrahochvakuumbereich noch bei Temperaturen von über 150°C zuverlässig einsetzbar.

Spezifikationen

Materialien Gehäuse: Edelstahl, FeNi oder Titan Isolator: Aluminiumoxid-Keramik Stifte: Molybdän oder FeNi-Legierung
Arbeitstemperatur: 350°C
Dichtheit: 110^-9 mbarl*s^-1

Flanschoptionen

Alle Durchführungen werden auf Wunsch mit Laser in Flansche eingeschweisst.

Produktdetails (Auszug aus unserer Produktpalette)

Model type: VD-SMA-02

SMA feedthrough 50 Ohm impedance

Dimensions pin configuration outer diameter length	1 x Ø 0,9 mm 9,0 mm 20,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	1150 V^*110 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-0B-04

4-pin instrumentation feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	4 x Ø 0,7 mm 9,4 mm 25,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	900 V^*17 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-0B-TK

Thermocouple feedthrough type K

Dimensions pin configuration outer diameter length	4 x Ø 0,7 mm 9,4 mm 25,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	900 V^*17 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-1B-05

5-pin instrumentation feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	5 x Ø 0,9 mm 12,0 mm 26,2 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	1350 V^*110 A (7,5 A all pins charged) yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-1B-10

SMA feedthrough 50 Ohm impedance

Dimensions pin configuration outer diameter length	1 x Ø 0,9 mm 9,0 mm 20,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	1150 V^*110 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-1S-Triax

10-pin instrumentation feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	10 x Ø 0,5 mm 12,0 mm 26,2 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	1350 V^*15 A (2,7 A all pins charged) yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-2B-12

12-pin instrumentation feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	12 x Ø 0,7 mm 15,0 mm 31,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	1350 V^*17 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-2L-19

19-pin instrumentation feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	19 x Ø 0,7 mm 15,0 mm 31,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	900 V^*17 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-3B-04

4-pin Power feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	4 x Ø 2,0 mm 18,0 mm 37,2 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	1650 V^*122 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-3L-08

8-pin instrumentation feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	8 x Ø 1,3 mm 18,0 mm 37,2 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	900 V^*17 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Model type: VD-3S-01

High voltage feedthrough

Dimensions pin configuration outer diameter length	1 x Ø 1,3 mm 18,0 mm 52,0 mm
Ratings max. voltage max. current magnetic materials	9000 V^*114 A yes

^*1 Test values according to MIL-STD-1344, Method 3001

Andere Durchführungen und Konfigurationen auf Anfrage!

Vakuumdurchführungen für Forschung und Industrie.

An Vakuumapparaturen angebracht, ermöglichen Vakuumdurchführungen den Transport von Energie in den evakuierten Raum. Als Stromdurchführungen zur Übertragung elektrischer Energie oder elektronischer Signale können unsere Vakuumdurchführungen im Ultrahochvakuumbereich und bei sehr hohen Temperaturen eingesetzt werden.